美国P-170 探针式轮廓仪

该系统结合了UltraLite^®传感器、恒力控制和**平扫描平台，因而具备出色的测量稳定性。通过点击式平台控制、**视和侧视光学系统以及带光学变焦的高分辨率相机等功能，程序设置简便快速。P-170具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法，可以支持2D或3D测量。并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。

主要功能

·        台阶高度：几纳米至1000μm

·        微力恒力控制：0.03至50mg

·        样品全直径扫描，*图像拼接

·        视频：500万像素高分辨率彩色摄像机

·        圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差

·        软件：简单易用的软件界面

·        生产能力：通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化

·        晶圆机械传送臂：自动加载75mm至200mm不透明（例如硅）和透明（例如蓝宝石）样品

主要应用

·        台阶高度：2D和3D台阶高度

·        纹理：2D和3D粗糙度和波纹度

·        形状：2D和3D翘曲和形状

·        应力：2D和3D薄膜应力

·        缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌

工业应用

·        半导体

·        化合物半导体

·        LED：发光二极管

·        MEMS：微机电系统

·        数据存储

·        汽车

·        还有更多：请与我们联系以满足您的要求

P-170 探针式轮廓仪信息由北京亿诚恒达科技有限公司为您提供，如您想了解更多关于P-170 探针式轮廓仪报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。