美国KLA D-500 探针式轮廓仪

主要功能

·        台阶高度：几纳米至1200μm

·        低触力：0.03至15mg

·        视频：500万像素高分辨率彩色摄像头

·        梯形失真校正：消除侧视光学系统引起的失真

·        圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差

·        紧凑尺寸：较小占地面积的台式探针式轮廓仪

·        软件：用户友好的软件界面

主要应用

·        台阶高度：2D台阶高度

·        纹理：2D粗糙度和波纹度

·        形式：2D翘曲和形状

·        应力：2D薄膜应力

工业应用

·        大学，研究实验室和研究所

·        半导体和复合半导体

·        SIMS：二次离子质谱

·        LED：发光二极管

·        太阳能

·        MEMS：微电子机械系统

·        汽车

·        医疗设备

·        还有更多：请与我们联系并探讨您的要求