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北京亿诚恒达科技有限公司
主营：电化学工作站,同步热分析仪,三维轮廓仪,石英晶体微天平 - 13911690781
北京亿诚恒达科技有限公司
主营：电化学工作站,同步热分析仪,三维轮廓仪,石英晶体微天平
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简介：
**高纯气体纯化技术是有色金属研究总院“十三五”重点产业化方向。在“十二五”期间**项目科研成果基础上研发的气体纯化材料，具有处理量大、去除杂质种类多、吸附深度大、使用寿命长等优点，并以此为核心技术开发出多个型号的惰性气体、氢气和氮气等**高纯气体纯化装置。同时，有研总院自身具备不断创新的研发能力，成套的纯化材料生产、纯化器组装技术，以及完善的纯化器性能测试条件，可根据用户需求设计完整解决方案、定制非标产品，并提供各项性能检测服务，目前产品已应用于中国科学院理化所、中国核工业集团、西南化工研究设计院、北京师范大学、北京航空航天大学、北京科技大学、国家有色金属材料检测中心，哈尔滨师范大学等单位获得应用。
UP10M工业用**高纯气体纯化器采用活性金属为化学吸附剂，当原料气通过活性金属纯化床时，气体中O 2，H2O，N2，CO，CO2，CH4等杂质气体与活性金属发生化学吸附反应，根据原料气纯度不同，一次纯化后出口气体纯度即达到 7N-8N，可实现无人值守全自动运行，并具有实时监测、故障报警和反馈等功能。为保证产品质量，纯化器系统管路连接全部采用 Swagelok 全自动轨道焊机焊接，漏率低于 10－9 Pa；关键部件焊接、组装、生产均在千级**净环境中进射流冲蚀试验机便于在各种条件下测定的磨损率。磨损率可 以用来确定在给定操作条件的材料。它也可以被用来预测使用寿命和寿命周期成本。
UP系列气体纯化器
委托上海正帆科技公司对 GRINM-UP1L 氩气纯化器性能检测结果
气体类型 | H2 | O2/Ar | N2 | CH4 | CO | CO2 | H2O | 单位 |
原料气 | 0.074 | <0.01 | 0.248 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | 未测试 | ppm |
纯化后 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.033 | ppm |
部分用于现场照片：
山西中升钢厂光谱仪配套UP10M使用现场，分析用气体纯度达到光谱仪检测所需的级的绿色。
北京科技大学CVD设备用的多台UP1L氩气纯化器
西南化工研究院定制 20MPa/30Nm3 氩气纯化器
搭载氢气纯化的电解水制氢/在线纯化系统，用于人造钻石生产高纯氢场合
UP10M工业用**高纯气体纯化器产品参数：
l 原料气纯度要求：≥99.999%，He/Ar/H2 /N2
l 产品气纯度：≥99.99999%
l 产品气杂质含量：
H2O ≤5ppb
O2 ≤10ppb
N2 ≤10ppb（原料气非 N2 ）
H2 ≤10ppb（原料气非 H2 ）
CO ≤10ppb
CO2 ≤10ppb
CH4 ≤10ppb
NMHC ≤10ppb
l 工作流量：≤10Nm3 /h，可定制2-30Nm3 /h
l 阀门：EP 级气动隔膜阀
l 内置颗粒过滤器：2 微米
l 显示屏：组态控制软件，触摸屏工业计算机控制
l 工作压力：2.0MPa，氩气可定制20兆帕高压
l 出入口气体压差：0.2MPa
l 进出气接口：1/4″VCR
l 纯化柱及管路：EP级316不锈钢
l 管路连接：Swagelok 自动轨道焊接
l 电源电压及功率：220V-380V，10-20kw
l 产品外形尺寸：500×700×1600mm
气体纯化器是集成电路、LED、太阳能板、光纤、燃料电池等制造工艺中必不可少的重要装备，并可有效提高离子溅射、薄膜生长、焊接、配气等多项技术的工艺性能。UP10M 工业用**高纯气体纯化器系列主要用于提供工业生产、分析测试中的**高纯度工艺气、保护气等，也是气体配制行业必不可少的关键设备之一。
气体种类 | 产品用途 | 应用领域 |
He | 稀释气纯化 | 半导体制造业中光刻、干刻、化学气相沉积工艺中混合气 |
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