美国MicroXAM-800 光学轮廓仪

主要应用

·        台阶高度：纳米级到毫米级的3D台阶高度

·        纹理：3D粗糙度和波纹度

·        形式：3D翘曲和形状

·        边缘滚降：3D边缘轮廓测量 

·        缺陷复检：3D缺陷表面形貌

工业应用

·        大学、研究实验室和研究所

·        半导体和化合物半导体

·        LED：发光二极管

·        电力设备

·        MEMS：微电子机械系统

·        数据存储

·        医疗设备

·        精密表面

·        汽车